第一百九十六章 无光刻雷射投影到光源蚀刻再到电子控制电路集成

晶圆处理区的稳定运行声还在空气中微微震颤，观察窗內最后一轮拋光流程刚刚结束。

郑飞光紧盯屏幕上跳动的参数。

“应力分布达標，表面粗糙度0.2纳米——成了！”

他猛地拍下停止键，熔炉缓缓熄火。

张海生立刻操作机械臂，泛著金属冷光的45纳米晶圆被轻柔夹起，精准转移至隔壁的雷射微刻蚀系统工位。

晶圆表面映出头顶无菌灯的倒影，光滑如镜。

“启动投影编程！”

郑飞光的声音带著紧绷的兴奋。

周瑶同步在控制台输入指令，杨辰传来的光子通路三维模型瞬间加载完毕。

嗡鸣声中，设备顶端的蓝色光源骤然亮起。

没有实体掩膜板，只有一道悬浮在晶圆上方、由亿万个光点构成的立体神经网络图谱。

那些交错的光路细如蛛丝，却清晰映射出光子微处理器的核心结构。

“这就是无光刻？”

张海生屏息盯著光网。

某个新人忍不住低呼。

“光束在自动调整密度！”

只见投影光点正根据晶圆实时反馈，动態收缩边缘区域的亮度，避免过度曝光。

“杨主管的算法在补偿曲面畸变。”

“传统光刻做不到这种实时修正。”

投影光束持续扫过晶圆。

当最后一条光路轨跡隱没的瞬间，周瑶的终端弹出提示，投影编程完成。

晶圆表面看似毫无变化，但郑飞光调出显微监测画面。

一道比髮丝细万倍的浅层光敏纹路已烙印在硅基底上，如同冰面下的暗痕。

杨辰的声音突然切入。

“转蚀刻区。”

他不知何时已站在蚀刻设备旁，手指悬在启动键上。

这台方型机器外壳灰黑粗糲，唯一显眼的是顶部碗口大的石英窗口，內部隱约透出紫光。

“光源充能！”

郑飞光高喊著拉下隔离闸。

设备內部传来蜂群振翅般的低频震动，窗口陡然迸发漩涡状紫色流光。

没有热量辐射，但所有人心头莫名一悸。

张海生瞥见周瑶终端的数据流，光波频率数值疯狂跳动，远超可见光谱范围。

“定。”

杨辰按下启动键。

漩涡紫光骤然坍缩成一束凝实的射线，穿透石英窗打在晶圆正中央！

被投影编程標记的区域瞬间气化，刻蚀深度精確至原子层级。

更诡异的是，蚀刻路径竟沿著早先的光敏纹路自动蜿蜒，仿佛两者存在某种无形纽带。

“蚀刻光源在跟踪投影標记……”

张海生脱口而出。

晶圆表面腾起纳米级的硅尘雾，又被实时抽走的负压气流瞬间捲走。

紫色光束像一支无形刻笔，在45纳米的战场上凿出第一条光子通路。

蚀刻区的主光源在完成最后那1%的深度后，如同耗尽最后一丝气力般，光芒极微弱地闪烁了一下，隨后彻底熄灭。